UV 400 測溫儀詳細說明

　　UV 400的前身TR 2100是*采用集成反射計(2001年)的高溫計，為使用光纖鏡頭和950 nm激光實時測量發射率建立了行業標準。藍寶石光管傳感器和實時的黑體校準源取得的研究進展提供了完整的溫度測量解決方案。

　　UV 400和UVR 400系統是專門為GaN基MOCVD外延工藝開發的下一代溫度傳感器。這些傳感器可以直接測量晶圓表面溫度，而非傳統的基座溫度。UVR 400較UV 400 增加了一個635 nm，0.5 kHz測量速度的反射率測量儀，可測量沉積厚度.

　　這些系統正在為 LED 生產過程設定一個新的標準，其結果顯示工藝溫度和終產品波長之間存在可靠的相關性.這種直接測量的方法可以更精確地控制晶片溫度，從而提高成品率

　　主要特點

　　使用紫外波段直接測量GaN層溫度;

　　使用脈沖光源實時快速測量發射率;

　　使用真正的光計數儀器將測量中的噪聲降至低;

　　防止由于延遲采樣(無快門打開和關閉)而造成的數據偏差

　　測溫范圍：650 至 1300℃

　　重復精度 0.01 °C (see TN-828)

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