JSM-IT200鎢燈絲掃描電鏡參數性能

　　分辨率：高真空模式 3.0nm(30kV)、8.0nm(15kV)、15nm(1.0kV)

　　低真空模式 ：4.0nm(30kV BED)

　　放大倍率：×5～×300,000 以（128mm×96mm作為規定顯示尺寸）

　　放大倍率：×14～×839,724 顯示器上的圖像倍率

　　電子槍：一體化預對中鎢燈絲   完全自動電子槍合軸

　　加速電壓：0.5 kV ～ 30 kV

　　探針電流：1pA ～ 0.3μA

　　低真空壓力設置范圍：10～100Pa

　　物鏡光闌：1 檔，XY 帶有微調功能

　　自動功能：燈絲調整、電子槍合軸調整、聚焦/像差/亮度/襯度調整

　　大樣品尺寸：150mm直徑×48mm高度

　　樣品臺：XY 2軸標配（全對中式）；X：80mm Y：40mm Z：5mm～48mm 傾斜：－10～90° 旋轉：360°

　　蒙太奇功能：標配

　　樣品架示意圖顯示范：127 mmΦ

　　圖像獲取的像素數：320×240；640×480；1,280×960；2,560×1,920；5,120×3,840；

　　顯示器：24英寸觸摸屏

　　EDS測量功能：EDS的規格參照有（兩點間距離、平行線間距、角度、直徑等）

　　數據管理功能：SMILE VIEWTM Lab

　　報告書生成功能：輸出到Microsoft?Word

　　語言切換：UI上可使用（日語、英語）

　　抽真空系統：完全自動；TMP：1臺；RP：1臺

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