橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量設備。由于并不與樣品接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種具吸引力的測量設備。

基本原理：

橢圓偏光法涉及橢圓偏振光在材料表面的反射。為表征反射光的特性，可分成兩個分量：P和S偏振態，P分量是指平行于入射面的線性偏振光，S分量是指垂直于入射面的線性偏振光。菲涅耳反射系數r描述了在一個界面入射光線的反射。P和S偏振態分量各自的菲涅耳反射系數r是各自的反射波振幅與入射波振幅的比值。大多情況下會有多個界面，回到最初入射媒介的光經過了多次反射和透射。總的反射系數Rp和Rs，由每個界面的菲涅耳反射系數決定。Rp和Rs定義為最終的反射波振幅與入射波振幅的比值。

橢圓偏振儀所需的組件包括：

1、把非偏振光轉化為線性偏振光的光學系統；

2、把線性偏振光轉化為橢圓偏振光的光學系統；

3、樣品反射；

4、測量反射光偏振特性的光學系統；

5、測量光強度的探測器；

6、根據假設模型計算結果的計算機。

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