等離子刻蝕機VP-RS15對標國際一線廠家，補充國內技術空白（真空不銹鋼腔體等離子清洗裝置），真空腔體不銹鋼材質，功率500W，頻率13.56MHz，能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用，滿功率運行3分鐘，腔體溫度不高于45℃，不損傷樣品，適用于晶圓去膠、煤灰化、碳毯（CF）、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃、石墨烯、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。
細節把控，給用戶更好體驗.
配備高精度泄壓閥，泄壓時長、速度可調，確保小顆粒或粉末樣品不被吹散
真空泵與主機聯動，可在觸摸屏控制真空泵開啟/關閉
1. 5米不銹鋼波紋管，比橡膠管更耐用，密封性更好
配備的真空泵噪音和油氣污染小，真空度高
真 空腔體不銹鋼材質，功率達到500W
安捷倫Agilent干泵 (選配)，避免油氣污染
OF- 20油污過濾器(選配)，避免排氣口油氣對實驗室環境的污染
經典清洗案例分析
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末雜質和油質.增加石墨烯表面親水基團(-0H) 提高親水性
硅片親水性處理，改性、活化表面
煤粉等離子處理低溫灰化
PDMS 等離子活化改性，提升親水性和鍵合力
晶圓去膠，芯片去膠，干法刻蝕等應用
二維材料的清潔、刻蝕
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