旋轉(zhuǎn)型等離子低溫灰化儀VP-TA2采用一種旋轉(zhuǎn)型不銹鋼等離子表面處理裝置技術(shù),解決了煤粉低溫灰化的三個(gè)難點(diǎn):1.灰化過程中旋轉(zhuǎn)腔溫度低,不破壞煤灰中礦物成分與結(jié)構(gòu)的完整性;2.旋轉(zhuǎn)腔在真空環(huán)境旋轉(zhuǎn),帶動(dòng)煤粉翻滾,對煤粉的灰化均勻且充分;3.自動(dòng)化程度高,可全自動(dòng)連續(xù)運(yùn)行48小時(shí)以上,無需人工干預(yù)。VP-TA2旋轉(zhuǎn)腔容積2升,樣品腔不銹鋼材質(zhì),兩路進(jìn)氣,中英文觸摸屏操作控制,頻率13.56MHz,功率400W,能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用,滿功率運(yùn)行3分鐘,腔體溫度不高于45℃,不損傷樣品,適用于煤低溫灰化、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導(dǎo)電玻璃、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料PLASMA處理。
Better Reliability, Better Operat ion
微小顆粒、 粉末樣品PLASMA處理不充分,不均勻的解決方案.
內(nèi)置兩路氣路,氣體流量可調(diào),無需再搭配氣體混合儀
真空等離 子處理儀控制軟件、操作簡易,智能化設(shè)計(jì),避免誤操作
采用數(shù)字顯示壓力,實(shí)時(shí)觀察腔體壓力變化
中英文操作系統(tǒng),觸摸屏控制,人機(jī)界面友好
清洗時(shí)長可在觸摸屏設(shè)置,等離子處理時(shí)間.精確到秒(s)
PLASMA處理結(jié)束后,自動(dòng)泄壓,泄壓時(shí)長和大小可調(diào),可通入氮?dú)庑箟?/p>
功率連續(xù)調(diào)節(jié)
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