UV光氧化廢氣凈化設備是一種專門去除有毒有害氣體及惡臭氣體的一種設備。它具有高效率、運行成本低、設備占地面積小、自重輕、無污染和機械動作、無噪音等特點，主要特點是不會產生二次污染，光氧化廢氣凈化設備的凈化率可以達到90%以上，是目前處理廢氣效果最理想的設備。

通過破壞、分解、催化氧化將污染氣體分解為無毒無害無味氣體。（一重破壞、二重分解、三重催化氧化）破壞一采用高能C波段（僅次于切割不銹鋼的激光，強于氬弧焊光源的數十倍強度）在設備內，強烈解惡臭物質分子鏈，改變物質結構，將高分子污染物質，裂解、氧化成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等。

1、O3強催化氧化劑進行廢氣催化氧化，可有效地殺滅細菌，將有毒有害物質破壞且改變成為低分子無害物質。

2、催化劑涂層，在C波段激光刺激它產生活性，強化催化氧化作用。

3、在分解過程中產生高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，及活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧）O+O2-O3(臭氧），眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其他刺激性異味有極強的清除效果。O3也為強催化氧化劑進行廢氣催化氧化，裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，徹底達到脫臭及殺滅菌的目的。